1、真空泵的極限壓強
　　泵的極限壓強 單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強。
2、真空泵的抽氣速率
　　泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，并按規(guī)定條件 工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置 測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。

3、真空泵的抽氣量
　　真空泵 的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動壓強
　　真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動 并有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強
　　真空泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
6、真空泵的最大前級壓強
　　真空泵口最大前級壓強 單位 是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
7、真空泵的最大工作壓強
　　真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指 對應(yīng)最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作 而不惡化或損壞。
8、壓縮比
　　壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
9、何氏系數(shù)
　　泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流 計算的理論抽速之比。
10、抽速系數(shù)
　　泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率
　　泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積 的泵流質(zhì)量 流率。
12、水蒸氣允許量
　　水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常 環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13、最大允許水蒸氣入口壓強
　　最大允許水蒸氣入口壓強單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時 所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強.